OA系統(tǒng)
特氣系統(tǒng)組成及特氣分類
特氣系統(tǒng)組成：由儲存、輸送、分配、控制四類設備組成。其中“存儲”指氣源部分(特氣柜GC)，“輸送”指配管部分(一般用雙套管)，“分配”指二次配部分(氣體分配柜VMB)，“控制”指監(jiān)督控制部分(氣體管理系統(tǒng)GMS)。
特氣分類：電子特氣根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分自燃氣體、易燃爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體;所以對應的特氣系統(tǒng)也按此分為四類。
特氣系統(tǒng)特點：
特氣系統(tǒng)中的每臺設備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作，帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報警，并可擴展地震監(jiān)控報警;單臺設備可以獨成系統(tǒng)獨立運轉(zhuǎn)，也可多臺設備用PLC或TGO連起來組成大系統(tǒng)，在監(jiān)控中心統(tǒng)一監(jiān)控管理，其報警系統(tǒng)還可以與安監(jiān)系統(tǒng)、消防系統(tǒng)對接。
電子特氣工程純度要求：
特種氣體要求超純、超凈。純度每提升一個 N 以及粒子、金屬雜質(zhì)含量濃度每降低一個數(shù)量級都將帶來工藝復雜度和難度的顯著提升。例如，12吋、90nm制程的集成電路制造技術(shù)要求電子特氣的純度要在 5N~6N 以上，有害的氣體雜質(zhì)濃度需要控制在 ppb(10-9);在更為先進的28nm 及目前國際一線的 6nm~10nm 集成電路制程工藝中，電子特氣的純度要求更高，雜質(zhì)濃度要求甚至達到 ppt(10-12)級別。
特種氣體管道的施工
特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質(zhì)量和程序進行嚴格的監(jiān)控和管理。最后整個系統(tǒng)還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。
其現(xiàn)場基本的施工程序為：施工圖紙會審﹣→施工組織編寫﹣→預制間的搭設﹣→施工機具的準備﹣→施工人員的培訓﹣→預制圖紙的編寫﹣→管道的預制﹣→管道的現(xiàn)場安裝﹣→系統(tǒng)檢測﹣→系統(tǒng)驗收
特氣系統(tǒng)檢測：
a. 設備安裝完成后，按照系統(tǒng)要求的基本功能逐一測試。
b. 系統(tǒng)運行正常，聯(lián)機測試通過。
c. 如商檢或設備測試中發(fā)現(xiàn)設備性能指標或功能上不符合招標文件和合同時，將被看作性能不合格，設備使用單位有權(quán)拒收并要求賠償。
d. 我公司負責在項目驗收時將系統(tǒng)的全部有關產(chǎn)品說明書、原廠家安裝手冊、技術(shù)文件、資料、及安裝、驗收報告等文檔交付設備使用單位。
e. 針對以上情況及實際工作壓力，參考《國家工業(yè)管道安裝及驗收規(guī)范》(GB50235-2010)、《現(xiàn)場設備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗收規(guī)范》(GB50236-2010)等部分有關規(guī)定，對本項目氣體管道壓力試驗及凈化制定具體方案。
